微晶玻璃封包He^3渗漏的检测 |
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引用本文: | 王国保,关再亮.微晶玻璃封包He^3渗漏的检测[J].真空,1990(6):30-34. |
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作者姓名: | 王国保 关再亮 |
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作者单位: | 中国原子能科学研究院,中国原子能科学研究院,中国原子能科学研究院 北京 102413,北京 102413,北京 102413 |
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摘 要: | 激光陀螺增益管为玻璃封包的激光器件,内充比例一定的低压强 He3和 Ne混合气 体。He3的渗漏将直接影响增益和寿命.本工作用四极质谱计检测充He3的增益管向 高真空测试系统的渗漏所引起的 M3分压强增高与无增益管时高真空系统内本底的M3 分压强相比较来判定 He3渗漏的有无;并以 He4的标准漏孔作为参考,粗略地估算微 晶玻璃封包材料的增益管的He3渗漏率和渗漏常数。
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关 键 词: | He^3渗漏 检测 玻璃封包 质谱计 |
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