微晶玻璃封包He^3渗漏的检测

激光陀螺增益管为玻璃封包的激光器件，内充比例一定的低压强 Ｈｅ3和 Ｎｅ混合气 体。Ｈｅ３的渗漏将直接影响增益和寿命．本工作用四极质谱计检测充Ｈｅ３的增益管向 高真空测试系统的渗漏所引起的 Ｍ３分压强增高与无增益管时高真空系统内本底的Ｍ３ 分压强相比较来判定 Ｈｅ３渗漏的有无；并以 Ｈｅ４的标准漏孔作为参考，粗略地估算微 晶玻璃封包材料的增益管的Ｈｅ３渗漏率和渗漏常数。