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| 光激励硅微机械谐振式传感器的进展 | |
| 作者姓名： | 刘月明 刘君华 张少君 |
| 作者单位： | [1]西安交通大学电气工程学院 [2]西安理工大学 |
| 摘 要： | 对光激励硅微机械式传感器的进展进行了综述，总结了该传感器的技术特点和结构形式，最后介绍了四种典型实例。 |
| 关 键 词： | 光激励 磁微谐振子 光纤 传感器 |
| 修稿时间： | 1999－05－04 |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ | |
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