以氟硅酸制备高纯石英砂的技术与工艺 |
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作者姓名: | 应盛荣 姜战 |
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作者单位: | 衢州市鼎盛化工科技有限公司,浙江衢州324000 |
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摘 要: | 介绍了从氟硅酸里提取二氧化硅的几种方法,并对此类二氧化硅制备高纯石英砂的技术进行了深入研究,提出了制造粒度可控的高纯石英砂的工艺路线;从分析结果看,这种化学合成的高纯石英砂完全可用于制造拉制单晶硅或多晶硅的石英坩埚,其质量超过进口石英砂,而成本非常低廉。
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关 键 词: | 氟硅酸 氨化 二氧化硅 高纯石英砂 等离子体 工艺技术 |
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