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摘    要:仪器Keithley推出40GHz参数测试系统 Keithley仪器公司日前宣布推出具有40GHz射频测量性能的S630DC/RF参数测试系统。此性能扫清了先进半导体器件对超薄栅极介质进行精确量测的主要障碍。 Keithley的高频(40GHz)射频测量系统,通过设计与测试头可靠的射频连接并采用独立笼脚测试(per-pin)技术,此系统实现了无与伦比的精确度与可重复性。此外,该系统还采用了先进的矢量网络分析仪(VNA)和直流/射频探针卡技术。当系统用于合适的测试结构设

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