| 工艺参数对CVI-TaC沉积速率的影响 |
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| 引用本文： | 陈招科,熊翔,李国栋,肖鹏,张红波,尹健,黄伯云. 工艺参数对CVI-TaC沉积速率的影响[J]. 中国有色金属学报, 2006, 16(12): 2047-2053 |
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| 作者姓名： | 陈招科 熊翔 李国栋 肖鹏 张红波 尹健 黄伯云 |
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| 作者单位： | 中南大学,粉末冶金国家重点实验室,长沙,410083 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划) |
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| 摘 要： | 利用TaCl5-Ar-C3H6-H2反应体系,采用化学气相渗透(CVI)法在炭毡中沉积TaC,并研究了CVI工艺参数如气体流速、滞留时间、沉积温度、沉积压力和H2的加入等对碳化钽在炭毡中沉积速率(用炭毡质量分数的增加来表示)的影响。研究表明:CVI-TaC受表面反应控制的最大气体流速为40 cm/s,最小滞留时间为1.2 s;沉积速率与沉积温度之间的关系不符合Arrhenius方程,沉积速率随沉积温度的升高先增加后减小,在950℃时达到最大值;在1 000℃时,CVI过程受孔隙扩散所控制;沉积速率随沉积压力的升高以及H2的加入而急剧增加。
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| 关 键 词： | 炭毡 化学气相渗透 扩散 沉积速率 |
| 文章编号： | 1004-0609（2006）12-2047-07 |
| 收稿时间： | 2006-03-21 |
| 修稿时间： | 2006-07-19 |
Influences of process parameters on deposition rate of CVI-TaC |
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| CHEN Zhao-ke,XIONG Xiang,LI Guo-dong,XIAO Peng,ZHANG Hong-bo,YIN Jian,HUANG Bai-yun. Influences of process parameters on deposition rate of CVI-TaC[J]. The Chinese Journal of Nonferrous Metals, 2006, 16(12): 2047-2053 |
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| Authors: | CHEN Zhao-ke XIONG Xiang LI Guo-dong XIAO Peng ZHANG Hong-bo YIN Jian HUANG Bai-yun |
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| Affiliation: | State Key Laboratory of Powder Metallurgy, Central South University, Changsha 410083, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | TaC |
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