| 体硅电容式双轴微加速度计的信号检测新方法 |
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| 引用本文： | 刘晓为,王超,谭晓昀,董长春.体硅电容式双轴微加速度计的信号检测新方法[J].传感技术学报,2008,21(3):490-493. |
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| 作者姓名： | 刘晓为 王超 谭晓昀 董长春 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学航天学院微电子科学与技术系,哈尔滨,150001;哈尔滨工业大学航天学院微电子科学与技术系,哈尔滨,150001;黑龙江大学电子工程学院微电子科学与技术系,哈尔滨,150080 |
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| 摘 要： | 在研究体硅电容式双轴加速度计结构部分,分析差分电容检测方法的基础上,提出了一种适合该加速度计的新型信号检测方法,此方法可有效地将两轴的混叠信号分别进行输出。通过HSPICE软件仿真验证了该方法的可行性。且依据0.5μmCMOSN阱工艺参数对总体电路进行模拟仿真,5V单电源供电,微加速度计单轴灵敏度为50mV/gn,频响为2.3kHz,量程为±50gn。
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| 关 键 词： | 双轴 差分电容 时分 信号检测 |
| 文章编号： | 1004-1699(2008)03-0490-04 |
| 修稿时间： | 2007年9月30日 |
A New Method for Signal Detection of Bulk-Silicon Capacitive Dual-Axis Micro-Accelerometers |
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| (.A New Method for Signal Detection of Bulk-Silicon Capacitive Dual-Axis Micro-Accelerometers[J].Journal of Transduction Technology,2008,21(3):490-493. |
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| Authors: | ( |
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| Affiliation: | 1 Department of Microelectronic Science and Technology, Harbin Institute of Technology, 150001
2 Department of Microelectronic Science and Technology, Heilongjiang University, 150080 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | dual-axis differential capacitance signal detection time-division |
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