| 基于二维微动平台的驱动电源设计 |
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| 引用本文： | 刘波,蒋家东.基于二维微动平台的驱动电源设计[J].仪器仪表学报,2006,27(Z3):2623-2624. |
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| 作者姓名： | 刘波 蒋家东 |
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| 作者单位： | 机械制造工艺研究所,绵阳,621900 |
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| 摘 要： | 压电陶瓷驱动器在电场作用下将产生迟滞和蠕变,从而降低其定位精度,采用电荷控制可以减小位移迟滞和蠕变.本文简要介绍了二维微动平台的总体设计,根据系统的特点及要求,设计了电荷反馈式驱动电源.
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| 关 键 词： | 压电陶瓷 二维微动平台 电荷反馈 驱动电源 |
Development of a driving power based on two dimensional micropositioning platform |
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| Liu Bo,Jiang Jiadong.Development of a driving power based on two dimensional micropositioning platform[J].Chinese Journal of Scientific Instrument,2006,27(Z3):2623-2624. |
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| Authors: | Liu Bo Jiang Jiadong |
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