| 微米纳米技术及微型机电系统 |
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| 引用本文： | 周兆英,叶雄英.微米纳米技术及微型机电系统[J].光学精密工程,1998,6(1):1-7. |
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| 作者姓名： | 周兆英 叶雄英 |
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| 作者单位： | 清华大学精密仪器与机械学系 |
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| 摘 要： | 微型机电系统和微型制造技术是一个新兴的技术领域。本文论述微米纳米制造技术的发展过程,微细加工的进展,微型机电系统的概念、主要研究课题,以及它的应用领域。
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| 关 键 词： | 微型机电系统 微米纳米制造技术 |
| 收稿时间： | 1997-04-14 |
| 修稿时间： | 1997-10-20 |
Microtechnology/Nanotechnology and MEMS |
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| ZHOU Zhaog Ying,YE Xiong Ying,CUI Tian Hong,ZHANG Lian.Microtechnology/Nanotechnology and MEMS[J].Optics and Precision Engineering,1998,6(1):1-7. |
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| Authors: | ZHOU Zhaog Ying YE Xiong Ying CUI Tian Hong ZHANG Lian |
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| Affiliation: | Dept.of Precision Instruments and Mechanology of Tsinghua University, Beijing 100084 |
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| Abstract: | MEMS and micro machine technology is a developing field.This paper deals with the process of microtechnology/nanotechnology,micro machining,the concept and main topic of MEMS and other fields. |
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| Keywords: | MEMS Micrometer and nanometer maching technology |
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