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| 面向未来光信息时代的微光机电系统 | |
| 引用本文： | 李铁,王跃林.面向未来光信息时代的微光机电系统[J].电子产品世界,2001(4):63-64. |
| 作者姓名： | 李铁 王跃林 |
| 作者单位： | 中国科学院上海冶金研究所 |
| 摘 要： | 随着信息技术逐步走上多媒 体、网络化和智能化的道路，信息获取技术和信息执行技术都成为信息发展的瓶颈。为了满足这一日益迫切的要求，微电子信息处理正逐步向系统芯片发展。在这场变革中，微机电系统(MEMS)由于能够把信息获取、处理和执行集成在一起，成为了系统芯片中关键的组成部分。由于微机电技术不仅为传统的机械领域打开了新的大门，也真正实现了机电一体化，因此，被认为是微电子技术的又一次革命。近十年来，由于通信网络、计算机技术和Internet技术的发展，通信的业务形式日趋多样化，全球通信业务量飞速增长。为了实现宽带… |
| 关 键 词： | 光信息 微光机电系统 光通信 |
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