| 改良西门子法多晶硅生产工艺关键设备 |
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| 引用本文： | 郭丹,王恩俊,武锦涛,王泽武,银建中. 改良西门子法多晶硅生产工艺关键设备[J]. 当代化工, 2013, 0(7) |
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| 作者姓名： | 郭丹 王恩俊 武锦涛 王泽武 银建中 |
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| 作者单位： | 大连理工大学 化工机械学院,辽宁 大连,116024 |
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| 摘 要： | 随着人们对太阳能资源的开发和深入研究，作为其原材料供给的多晶硅行业也得到迅猛发展。在对多晶硅生产工艺改进的同时，其生产设备也得到相应的改进和更新。就改良西门子法多晶硅生产过程中的不同工序和不同工艺的主要生产设备进行探讨，比较其优缺点，并介绍相应的改进方法以获得更优的生产效率。
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| 关 键 词： | 太阳能级多晶硅 改良西门子法 生产设备 节能高效 |
Critical Equipments of Polysilicon Production Technology With Modified Siemens Method |
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| GUO Dan , WANG En-jun , WU Jin-tao , WANG Ze-wu , YIN Jian-zhong. Critical Equipments of Polysilicon Production Technology With Modified Siemens Method[J]. Contemporary Chemical Industry, 2013, 0(7) |
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| Authors: | GUO Dan WANG En-jun WU Jin-tao WANG Ze-wu YIN Jian-zhong |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Polysilicon Modified siemens method Production equipments Energy saving |
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