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| 无油排气质谱 | |
| 引用本文： | 真空技术组.无油排气质谱[J].真空,1978(6). |
| 作者姓名： | 真空技术组 |
| 作者单位： | 广播科研所 |
| 摘 要： | 一、无油排气系统 从1974年开始,在北京仪器厂的协助下我们组装了一台无油真空系统专用于大功率发射管的排气,(1)该系统以两级吸附泵或带分子筛吸附阱的机械泵为前级,以冷钛泵为主泵、钛升华泵为辅泵。这样的组成方案目前在电真空器件的研制单位、包括使用无油真空技术制作发射管的厂家中是广泛应用的。这类排气台提供无油清洁真空的效果如何?在应用中应注意一些什么问题?这便是本实验所要探讨的。 目前我们使用的无油排气台如图1所示; 它与当初报导的系统(1)相比,几年来作过如下几点改进: l、用活性氧化铝挡油饼(配合机械泵)代替了分子筛挡… |
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