| 薄膜生长初期岛形貌转变的模拟研究 |
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| 引用本文： | 陈丹丹 李林 滕春禹 钟钰 梁焕巢. 薄膜生长初期岛形貌转变的模拟研究[J]. 材料导报, 2007, 21(F11): 89-91 |
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| 作者姓名： | 陈丹丹 李林 滕春禹 钟钰 梁焕巢 |
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| 作者单位： | 东北大学理学院,沈阳110004 |
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| 基金项目： | 辽宁省计划科学项目（No.2006222002） |
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| 摘 要： | 用Kinetic Monte Carlo（KMC）方法实现了（001）衬底上薄膜生长初始阶段岛形貌的模拟。在模型中考虑了原子沉积、吸附原子扩散和绕岛运动等过程，并考虑了衬底温度、沉积速率、Lennard-Jones（L-J）作用势范围等因素对生长的影响。研究了岛边缘亚稳粒子绕岛运动对岛形貌的影响。结果表明，绕岛运动越强岛形貌越趋于紧致状。模拟中发现：当绕岛能力相同时，随着衬底温度的升高，岛形貌由紧致向枝晶转变。
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| 关 键 词： | 蒙特卡罗 岛形貌 沉积速率 绕岛步数 |
Simulation of Islands Morphologies Transition of Thin Film Growth in Initial Stage |
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| CHEN Dandan, LI Lin, TENG Chunyu, ZHONG Yu, LIANG Huanchao. Simulation of Islands Morphologies Transition of Thin Film Growth in Initial Stage[J]. Materials Review, 2007, 21(F11): 89-91 |
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| Authors: | CHEN Dandan LI Lin TENG Chunyu ZHONG Yu LIANG Huanchao |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Monte Carlo island morphologies deposition rate around-island step |
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