| SnO2纳米棒CH4传感器的自组装研究 |
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| 引用本文： | 王冰,徐平.SnO2纳米棒CH4传感器的自组装研究[J].半导体技术,2008,33(7):606-609. |
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| 作者姓名： | 王冰 徐平 |
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| 作者单位： | 深圳大学电子科学与技术学院,深圳市微纳光子信息技术重点实验室,广东,深圳518060;深圳大学电子科学与技术学院,深圳市微纳光子信息技术重点实验室,广东,深圳518060 |
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| 基金项目： | 深圳市微纳光子信息技术重点实验室开放基金资助项目 |
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| 摘 要： | 为了能够对低浓度的CH4进行灵敏探测以减少煤矿生产过程中瓦斯爆炸的概率,通过热蒸发SnO2和活性炭混合粉末的自组装制备方式直接在Cr-Au梳状交叉电极上合成了一层SnO2纳米棒气敏层,从而研制出自组装型SnO2纳米棒气敏传感器.经测试,发现此传感器对于浓度为10×10-6～500×10-6的CH4具有非常好的探测灵敏度,继而从气敏机制、自组装制备方式、SnO2纳米棒的比表面特性及SnO2纳米棒的尺度低于德拜长度等角度解释此传感器对CH4具有高气敏性的原因.
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| 关 键 词： | 气敏传感器 纳米材料 气敏特性 |
| 文章编号： | 1003-353X(2008)07-0606-04 |
| 修稿时间： | 2008年5月5日 |
Self-Assembled Study on CH_4 Sensitive Property of SnO_2 Nanorods Gas Sensor |
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| Wang Bing,Xu Ping.Self-Assembled Study on CH_4 Sensitive Property of SnO_2 Nanorods Gas Sensor[J].Semiconductor Technology,2008,33(7):606-609. |
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| Authors: | Wang Bing Xu Ping |
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| Affiliation: | Wang Bing,Xu Ping (Shenzhen Key Lab.of Micro-Nano Photonic Information Technology,School of Electronic Science , Technology,Shenzhen University,Shenzhen 518060,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | gas sensor nanomaterials gas sensitivity property |
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