| 小深孔内径电容传感测量系统的研究 |
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| 引用本文： | 徐安桃,付敬业,郑义忠,叶声华.小深孔内径电容传感测量系统的研究[J].传感技术学报,2006,19(6):2460-2463. |
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| 作者姓名： | 徐安桃 付敬业 郑义忠 叶声华 |
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| 作者单位： | 天津大学,天津,300072;军事交通学院汽车系,天津,300161;军事交通学院汽车系,天津,300161;天津大学测量技术与仪器国家重点实验室,天津,300072 |
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| 摘 要： | 采用电容传感器测量小深孔的孔径,该系统使用直径较小的电容探针作为传感器件,电容仪器将孔径的变化转换为电压的变化,并通过USB接口将此电压信号输入到计算机系统中进行处理.论述了电容传感器的工作原理和电容仪器的转换电路的基本原理,设计了电容传感器测量小盲深孔孔径系统的总体方案,特别使用小于Ф3而大于Ф1深孔的内径自动检测,并对Ф3和7mm孔径进行了实际测量,并分析了测量所得到的数据,多次测量的标准差小于0.5 μm,测量分辨率为0.05μm.
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| 关 键 词： | 小深孔 电容传感器 传感器标定 |
| 文章编号： | 1004-1699（2006）06-2460-04 |
| 收稿时间： | 2005-12-06 |
| 修稿时间： | 2005年12月6日 |
A research of the capacitance measurement system for inner diameter of deep hole |
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| XUAn-tao,FUJingye ,ZHENGYizhong YESenghua.A research of the capacitance measurement system for inner diameter of deep hole[J].Journal of Transduction Technology,2006,19(6):2460-2463. |
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| Authors: | XUAn-tao[] FUJingye [] ZHENGYizhong [] YESenghua [] |
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| Affiliation: | 1. Tianjin Universit ; Tianjin 300072, China ; 2. State Key Laboratory of Measuring Technology and Instruments, Tianj in University, Tianj in 300072, China ; 3. Department of Automobile, College of Transportation Engineering, Tianjin 300072,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | small deep hole capacitance sensor the calibration of the sensor |
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