| 溅射Au对SnO_2/Fe_2O_3薄膜气敏特性的影响 |
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| 引用本文： | 马晓翠,阎大卫,肖智博. 溅射Au对SnO_2/Fe_2O_3薄膜气敏特性的影响[J]. 传感器与微系统, 2003, 22(6): 4-7 |
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| 作者姓名： | 马晓翠 阎大卫 肖智博 |
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| 作者单位： | 1. 深圳大学,理学院,材料系,广东,深圳,518060
2. 吉林大学,电子工程学院,吉林,长春,130023 |
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| 基金项目： | 广东省深圳市科技局科研项目，深圳大学校科研和教改项目，200012，9913，， |
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| 摘 要： | 通过直流溅射Au对PCVD方法制备的SnO2/Fe2O3双层薄膜的SnO2表面进行了修饰,并对修饰后的Au SnO2/Fe2O3薄膜的气敏特性进行了观测。结果表明,Au的催化作用使Au SnO2/Fe2O3薄膜气敏器件对CO,H2,C2H5OH等气体的灵敏度增大2～3倍,相应于最大灵敏度的工作温度均降低约60℃。这显示直流溅射Au是改善SnO2/Fe2O3双层薄膜气敏性能的一种有效手段。
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| 关 键 词： | SnO2/Fe2O3双层薄膜 气体传感器 溅射 表面修饰 |
| 文章编号： | 1000-9787(2003)06-0004-04 |
| 修稿时间： | 2003-02-24 |
Influence of Au-sputtering on gas-sensing properties of SnO2/Fe2O3 film |
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| Abstract: | The SnO2 surfaces of SnO2/Fe2O3 double lay er film with a plasma chemical vapor deposition (PCVD) were modified by dc sputte ring Au particles.The gas sensing properties for the modified Au SnO2/Fe2O 3 were measured.It is found that due to the catalytic action of Au the sensiti vities of the Au SnO2/Fe2O3 on gas CO,H2 and C2H5OH increase by a f actor of 3～4,and that the temperatures for the maximum sensitivity are about 60 ?℃ lower than before modified.This shows that dc sputtering Au is an effectiv e surface modification method to improve gas sensing properties of the SnO2/F e2O3. |
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| Keywords: | SnO_2/Fe_2O_3 double-layer film gas sensor sputtering surface modification |
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