| 超灵敏度检漏仪校准技术进展 |
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| 引用本文： | 王汐月,卢耀文,陈千睿,董云宁,魏萌萌,杨传森,闫睿,齐京.超灵敏度检漏仪校准技术进展[J].真空科学与技术学报,2023(5):390-395. |
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| 作者姓名： | 王汐月 卢耀文 陈千睿 董云宁 魏萌萌 杨传森 闫睿 齐京 |
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| 作者单位： | 1. 北京市真空计量检测工程技术研究中心;2. 北京东方计量测试研究所;3. 清华大学 |
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| 摘 要： | 本文综述了国际上超灵敏度检漏仪的校准技术进展。超灵敏度检漏仪是高可靠长寿命真空器件封装的重要检漏工具，当前报道的检漏下限可达10-16 Pa·m3/s，但检漏结果的正确性是器件可靠性的关键因素。超灵敏度检漏结果正确性主要取决于检漏仪的自身性能和计量校准，对于后者，国际上先后采用标准漏孔、可变漏率的白金丝漏孔及标准气体流量计作为参考标准来提高检漏结果的正确性。采用标准漏孔的方法是使用当前下限仅为10-11 Pa·m3/s的漏孔作为参考标准，由于漏孔自身的偏差及检漏采用质谱计跨越几个数量级的线性递推方法，在小于10-14 Pa·m3/s范围的检漏结果偏差可达一个数量级；采用可变漏率的白金丝漏孔作为参考标准，可提供(10-10～10-12)Pa·m3/s范围内漏率，与标准漏孔相比对检漏结果的正确性有一定提升；采用近期新研制的宽量程标准气体流量计作为参考标准，可提供下限为10-16
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| 关 键 词： | 超灵敏度检漏 标准气体流量计 校准 真空器件 长寿命 高可靠 |
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