TEM模式同轴谐振腔低气压放电蒙特卡罗仿真和实验研究 |
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引用本文: | 彭玉彬,茅张松,周昊楠,曾鸣奇,胥钧埕,贺永宁.TEM模式同轴谐振腔低气压放电蒙特卡罗仿真和实验研究[J].真空科学与技术学报,2023(4):290-297. |
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作者姓名: | 彭玉彬 茅张松 周昊楠 曾鸣奇 胥钧埕 贺永宁 |
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作者单位: | 1. 西安交通大学电子与信息学部微电子学院;2. 西安市微纳电子与系统集成重点实验室 |
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摘 要: | 随着无线通信系统高频小型化的发展趋势,对微波滤波器设计提出更为严苛的要求。其中功率容量作为衡量滤波器性能的重要指标,在滤波器尺寸不断缩小的情形下面临严峻的挑战。谐振器作为滤波器基本组成单元,对单一谐振器的功率容量准确预测十分重要。本文针对工作频率在2.6 GHz的TEM模式同轴谐振器,将电容加载的耦合结构近似为平行平板结构,利用单粒子蒙特卡罗方法仿真获得同轴谐振器临界击穿电场,实现了对该结构同轴谐振腔的低气压放电功率阈值仿真预测。对所设计同轴谐振腔开展低气压放电实验研究,获得了100~1000 Pa气压范围内击穿功率阈值随气压的变化关系实验曲线,并验证了单粒子蒙特卡罗仿真预测方法的准确性。
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关 键 词: | 蒙特卡罗数值模拟 低气压放电 同轴谐振腔 功率阈值 |
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