| 基于SOPC的检焦图像实时处理系统设计 |
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| 引用本文： | 赵子豪,骆冬根,路美娜,罗环,赵鑫鑫,雷雪枫. 基于SOPC的检焦图像实时处理系统设计[J]. 电子测量技术, 2022, 45(9): 31-37 |
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| 作者姓名： | 赵子豪 骆冬根 路美娜 罗环 赵鑫鑫 雷雪枫 |
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| 作者单位： | 1.中国科学院合肥物质科学研究院 安徽光学精密机械研究所，合肥 230031，中国；2.中国科学技术大学，合肥 230026，中国；3.中国科学院通用光学定标与表征技术重点实验室，合肥 230031，中国;1.中国科学院合肥物质科学研究院 安徽光学精密机械研究所，合肥 230031，中国;3.中国科学院通用光学定标与表征技术重点实验室，合肥 230031，中国 |
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| 基金项目： | 王宽诚率先人才计划“卢嘉锡国际合作团队项目”（GJTD-2018-15）资助 |
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| 摘 要： | 针对投影式光刻机检焦系统对图像处理强实时性的需求，以FPGA芯片为载体，设计了一种基于SOPC的检焦图像实时处理系统。首先，使用Microblaze嵌入式软核执行图像处理算法，无需更改硬件架构即可进行系统方案验证和算法调试；然后，采用软硬件协同的方案，将算法移植到FPGA硬件中，实现了检焦流程的加速。FPGA片内通过AXI总线进行软硬件间数据交互，片外通过光纤接口与工件台互连，完成检焦结果的高速上传。实验结果表明，系统运行稳定，完成整个检焦流程需要104μs，软硬件协同实现速度约为软核实现的1700倍。
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| 关 键 词： | 检焦；图像处理；SOPC；Microblaze；软硬件协同；AXI总线 |
Design of real-time processing system of focus detection image based on SOPC |
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| Zhao Zihao,Luo Donggen,Lu Mein,Luo Huan,Zhao Xinxin,Lei Xuefeng. Design of real-time processing system of focus detection image based on SOPC[J]. Electronic Measurement Technology, 2022, 45(9): 31-37 |
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| Authors: | Zhao Zihao Luo Donggen Lu Mein Luo Huan Zhao Xinxin Lei Xuefeng |
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| Affiliation: | 1.Anhui Institute of Optics and Fine Mechanics, Hefei Institutes of Physical Science, Chinese Academy of Science, Hefei 230031,China/P.R.China;2. University of Science and Technology of China, Hefei 230026, China/P.R.China;3. Key Laboratory of Optical Calibration and Characterization of Chinese Academy of Science, Hefei 230031, China/P.R.China;1.Anhui Institute of Optics and Fine Mechanics, Hefei Institutes of Physical Science, Chinese Academy of Science, Hefei 230031,China/P.R.China;3. Key Laboratory of Optical Calibration and Characterization of Chinese Academy of Science, Hefei 230031, China/P.R.China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | focus detection image processing SOPC Microblaze software and hardware collaboration AXI bus |
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