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| 高精度双折射晶体定轴测厚仪 | |
| 作者姓名： | 杨还 胡岳风 艾国祥 |
| 作者单位： | 中国科学院南京天文仪器厂(杨还)，中国科学院北京天文台(胡岳风)，中国科学院北京天文台(艾国祥) |
| 摘 要： | 一、前言为研制透过带为0.12～0.15(?)窄带双折射滤光器,要求双折射晶片的光程差的偏差小于1/200波长,晶体光轴定向误差小于2′。而以往用常规仪器测定,厚度偏差只能达到1/50波长,定向误差约5′。为此,我们研制了高精度双折射晶体定轴测厚仪。本仪器用来测量晶体厚度、晶轴的方位角及晶体材料的双折射率(μ值)。测厚精度达1/(1000)波长,定轴精度优于1′,μ值可定准到5×10~(-5),测试数据稳定可靠。二、仪器的测量原理及精度1.晶体测厚原理及精度在两平行或正交的偏振片之间,放一片双折射晶体b(图1),其晶轴躺在通光面上,且与偏振轴成45°夹角。光束通过双折射晶体后,o 光和e 光之间有光程差σ为: |
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