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Pr掺杂对ZnO透明导电薄膜光电性能的影响
引用本文:李海金,孟 洁,刘 义,张 蓓,程 干. Pr掺杂对ZnO透明导电薄膜光电性能的影响[J]. 材料导报, 2015, 29(8): 11-15. DOI: 10.11896/j.issn.1005-023X.2015.08.003
作者姓名:李海金  孟 洁  刘 义  张 蓓  程 干
作者单位:安徽工业大学数理科学与工程学院,光电信息材料与技术研究所,马鞍山243032
基金项目:国家自然科学基金(51202005;21473091); 安徽省教育厅高等学校省级自然科学重点研究项目(KJ2011A053);中国科学院新型薄膜太阳能电池重点实验室开放研究基金(KF201101);国家级大学生创新创业训练计划(201310360095)
摘    要:采用溶胶-凝胶法在石英玻璃基片上制备出了Pr掺杂ZnO透明导电薄膜,研究了Pr掺杂对ZnO透明导电薄膜结构、形貌、光学和电学性能的影响。实验结果表明,Zn1-xPrxO薄膜均为纤锌矿结构,当Pr掺杂含量为1%时,Zn1-xPrxO薄膜的结晶质量最好、可见光平均透过率最高、电阻率最低,具有最佳的光电综合性能。

关 键 词:溶胶-凝胶法  ZnO∶Pr薄膜  透明导电薄膜

Effect of Pr Doping on the Photoelectric Properties of ZnO Transparent Conducting Thin Films
LI Haijin , MENG Jie , LIU Yi , ZHANG Bei , CHENG Gan. Effect of Pr Doping on the Photoelectric Properties of ZnO Transparent Conducting Thin Films[J]. Materials Review, 2015, 29(8): 11-15. DOI: 10.11896/j.issn.1005-023X.2015.08.003
Authors:LI Haijin    MENG Jie    LIU Yi    ZHANG Bei    CHENG Gan
Abstract:
Keywords:sol-gel method  ZnO ∶ Pr films  transparent conducting thin films
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