| CdZnTe核辐射探测器表面物理和化学钝化研究 |
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| 引用本文： | 金玮,桑文斌,李万万,葛艳辉,闵嘉华,张明龙.CdZnTe核辐射探测器表面物理和化学钝化研究[J].功能材料,2004,35(4):467-469. |
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| 作者姓名： | 金玮 桑文斌 李万万 葛艳辉 闵嘉华 张明龙 |
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| 作者单位： | 上海大学,嘉定校区电子信息材料系,上海,201800;上海大学,嘉定校区电子信息材料系,上海,201800;上海大学,嘉定校区电子信息材料系,上海,201800;上海大学,嘉定校区电子信息材料系,上海,201800;上海大学,嘉定校区电子信息材料系,上海,201800;上海大学,嘉定校区电子信息材料系,上海,201800 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(10175040) |
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| 摘 要： | 表面漏电流引起的噪声会限制CAznTe(CZT)探测器的性能。尤其对于共面栅探测器，漏电噪声的大小与器件的电极设计和表面处理工艺密切相关。本文比较了探测器表面的物理和化学钝化工艺：采用H2O2溶液和KOH—KCl溶液对CZT样品进行湿化学钝化处理，采用RFPCVD法在CZT样品表面沉积类金刚石薄膜(DLC)进行物理干法钝化。借助俄歇电子能谱(AES)和显微拉曼光谱以及ZC36微电流测试仪等手段研究了CZT表面组成与器件电学性能之间的关系。AES结果表明KOH—KCl溶液钝化可以改善CZT样品表面的化学组分比，H2O2溶液钝化可以将表面富Te层转化为高阻氧化层，钝化前后的I-V特性曲线表明两种化学钝化方法均可以有效地减小器件表面漏电流，达到满意的钝化效果。CZT样品表面物理钝化通过在样品表面沉积DLC薄膜加以实现，显微拉曼光谱表明CZT表面钝化层是高sp^3含量的DLC薄膜，AES深度剖析表明DLC薄膜可以有效阻止CZT内部元素的外扩散，并且DLC薄膜内部C元素向CZT内部的扩散也是比较低的。DLC薄膜钝化后的CZT共面栅探测器表面栅距25μm的栅间电阻可以达到12GΩ，有效地降低了器件的表面漏电流。
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| 关 键 词： | CdZnTe 核辐射探测器 钝化 类金刚石薄膜 漏电流 |
| 文章编号： | 1001-9731(2004)04-0467-03 |
| 修稿时间： | 2003年9月27日 |
Comparison of physical and chemical passivation processes of CdZnTe detector |
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| JIN Wei,SANG Wen-bin,LI Wan-wan,GE Yan-hui,MIN Jia-hua,ZHANG Ming-long.Comparison of physical and chemical passivation processes of CdZnTe detector[J].Journal of Functional Materials,2004,35(4):467-469. |
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| Authors: | JIN Wei SANG Wen-bin LI Wan-wan GE Yan-hui MIN Jia-hua ZHANG Ming-long |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | CdZnTe (CZT) nuclear detector passivation diamond-like carbon (DLC) leakage current |
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