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| 磁控溅射镀氮化钛工艺分析 | |
| 引用本文： | 费跃.磁控溅射镀氮化钛工艺分析[J].真空,1990(4):52-57. |
| 作者姓名： | 费跃 |
| 作者单位： | 江苏省武进县第二玻璃钢厂 |
| 摘 要： | 本文从工厂应用的角度着重讨论磁控溅射镀膜机镀氮化钛装饰膜的工艺问题。 |
| 关 键 词： | 磁控溅射 镀膜 氮化钛 工艺 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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