| 退火温度对sol-gel制备的ZnO薄膜的结构影响 |
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| 引用本文： | 谷坤明,汤皎宁,李均钦,杨钦鹏,李翠华,YANG Qin-peng,LI Cui-Hua. 退火温度对sol-gel制备的ZnO薄膜的结构影响[J]. 功能材料与器件学报, 2005, 11(3): 370-372 |
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| 作者姓名： | 谷坤明 汤皎宁 李均钦 杨钦鹏 李翠华 YANG Qin-peng LI Cui-Hua |
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| 作者单位： | 深圳大学理学院材料系,深圳市特种功能材料重点实验室,深圳,518060;深圳大学师范学院化生系,深圳,518060 |
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| 基金项目： | 广东省自然科学基金（No.021286）和深圳市科技基金资助. |
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| 摘 要： | 采用sol-gel旋涂法在抛光硅〈111〉晶面生长了高度C轴取向的ZnO薄膜。DSC以及XRD测试结果显示此溶胶系统的最佳退火温度为450℃左右，更高的退火温度将对薄膜的择优取向产生不利的影响。SEM显示薄膜表面致密、均匀、光滑，组成薄膜的颗粒尺寸在50～100nm，并显示出良好的C轴择优取向。
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| 关 键 词： | ZnO薄膜 溶胶-凝胶法 热处理 |
| 文章编号： | 1007-4252（2005）03-0370-03 |
| 收稿时间： | 2004-12-31 |
| 修稿时间： | 2005-03-14 |
Influence of heat-treatment temperature on ZnO thin film prepared by sol-gel method |
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| GU Kun-ming,LUO Gui-qing,XU Jing-xing,TANG Jiao-ning,LI Jun-qin,YANG Qin-peng,LI Cui-Hua. Influence of heat-treatment temperature on ZnO thin film prepared by sol-gel method[J]. Journal of Functional Materials and Devices, 2005, 11(3): 370-372 |
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| Authors: | GU Kun-ming LUO Gui-qing XU Jing-xing TANG Jiao-ning LI Jun-qin YANG Qin-peng LI Cui-Hua |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ZnO thin films sol-gel heat treatment |
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