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| 激光直写技术的研究现状及其进展 | |
| 引用本文： | 徐兵,魏国军,陈林森. 激光直写技术的研究现状及其进展[J]. 光电子技术与信息, 2004, 17(6): 1-5 |
| 作者姓名： | 徐兵 魏国军 陈林森 |
| 作者单位： | 苏州大学信息光学工程研究所,江苏,苏州,215006 |
| 摘 要： | 介绍了激光直写技术的最新发展现状，系统的功能、结构和工作方式，对当前该系统存在的一些问题进行了归纳分析，探讨了系统的应用范围和今后的发展方向． |
| 关 键 词： | 激光直写 二元光学元件 光刻 空间光调制器 光变图像 |
| 文章编号： | 1006-1231(2004)06-0001-05 |
| 修稿时间： | 2003-12-22 |
Research Advances in Technology of Laser Direct Writing |
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