多晶硅碳含量对产品质量的影响及处理工艺

多晶硅一般采取改良西门子法技术方法生产,其产品质量对电子器件使用性能以及转换电池效率造成影响。为了解决生产多晶硅过程中含碳量较高等问题,本文分析、探索了碳的主要来源、影响因素及控制方法。