电子束曝光机(四)

根据已经发表的文献,本节介绍已经投入使用并代表1979年初水平的几台电子束曝光机的主要特征和性能。这些机器包括一台专门设计用于掩模制造的机器,一台典型的高分辨率矢量扫描机器和一台设计用于中等分辨率高额生产的变形束机器。