厚膜型γ—Fe_2O_3气敏元件的一次烧成工艺及气敏特性的研究 |
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引用本文: | 邹志刚.厚膜型γ—Fe_2O_3气敏元件的一次烧成工艺及气敏特性的研究[J].传感器与微系统,1987(4). |
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作者姓名: | 邹志刚 |
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作者单位: | 天津理工学院 |
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摘 要: | 木文研究了以γ—Fe_2O_3为起始原料,一次烧成法制备γ—Fe_2O_3半导体陶瓷新工艺及其影响因素。测定出电阻率——烧成温度特性曲线,并与以Fe_3O_4为起始原料的二次烧成工艺作了比较。借助XRD、SEM分析和观察,认为显微结构的变化是导致气敏元件失效的原因。适当控制一次烧成工艺,可以制备出性能优异的半导体陶瓷气敏元件。
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