光学薄膜的离子抛光

光损失小的光学薄膜的制取是当前一项迫切的工艺课题。在制造集成光学元件和连续激光器的多层反射镜元件时就需要这样的薄膜。对用真空镀膜法制成的薄膜所作的电子显微镜研究表明,它们的表面粗糙,微观不平度的大小可从50埃～0.5微米。这种糙度的存在就会在薄膜-空气界面上产生光的散射,而在多层薄膜中由于在薄膜层之间的界面上有附加散射以及上面各层薄膜的糙度,光的散射大大增加。