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| 双膜桥微波MEMS开关 | |
| 作者姓名： | 朱健 郁元卫 陆乐 贾世星 张龙 |
| 摘 要： | 介绍了一种双膜桥微波MEMS开关,给出了开关的设计与优化方法,建立了开关的仿真模型,使用硅表面微机械工艺制造了双膜桥开关样品,其主要结构为硅衬底上制作CPW金属传输线电极和介质层,然后制作具有微电感结构的金属膜桥,提高了开关隔离度.利用HFSS软件仿真的结果表明,该开关在微波低频段(3～6GHz)有着很好的隔离性能.研制的开关样品在片测试的电性能指标为:插损小于0.3dB,隔离度大于40dB,驱动电压小于24V. |
| 关 键 词： | 微机电系统 射频开关 高隔离度 |
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