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再谈经典四探针测试方法中圆片连界修正系数
引用本文:查名瑞.再谈经典四探针测试方法中圆片连界修正系数[J].半导体技术,1996(4):62-64.
作者姓名:查名瑞
摘    要:介绍经典法直排四探针测量电阻率或薄层电阻时,圆片边界修正系数的计算公式,计算程序和修正系数表。

关 键 词:四探针法  薄层电阻  参数测试  硅片  计算
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