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杂志ISSN号
再谈经典四探针测试方法中圆片连界修正系数
作者姓名:
查名瑞
摘 要:
介绍经典法直排四探针测量电阻率或薄层电阻时,圆片边界修正系数的计算公式,计算程序和修正系数表。
关 键 词:
四探针法 薄层电阻 参数测试 硅片 计算
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