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| 基体随炉氮化提高PCVD TiN结合强度 | |
| 引用本文： | 陈华,孙海林,胡奈赛,何家文.基体随炉氮化提高PCVD TiN结合强度[J].中国表面工程,1996(1). |
| 作者姓名： | 陈华 孙海林 胡奈赛 何家文 |
| 作者单位： | 西安交通大学金属材料强度国家重点实验室 |
| 摘 要： | 本文用对滚实验方法，评定了基体与膜的动态结合强度。镀膜滚轮经过5×106周次循环之后，膜的剥落面积小于5％时的最大接触应力定义为膜基界面疲劳强度σc。钢基体经过喷砂处理后，PCVDTiN膜的结合强度有很大提高。如果工件的光洁度要求较高不能喷砂处理时，表面预氮化能够达到与喷砂处理同样的结合力。 |
| 关 键 词： | 结合强度 TiN 氮化 |
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