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| 二维精密工作台测量系统设计 | |
| 引用本文： | 郝敏.二维精密工作台测量系统设计[J].硅谷,2011(17):59-60. |
| 作者姓名： | 郝敏 |
| 作者单位： | 四川大学制造科学与工程学院,四川成都,610065 |
| 摘 要： | 提出二维精密微动工作台的结构及控制方案。以直线电机作为驱动,由气浮导轨带动工作台实现水平x、y两个方向微位移运动,同时利用光栅传感器构成反馈控制。z方向采用激光位移传感器,实现非接触测量。 |
| 关 键 词： | 二维工作台 直线电机 气浮导轨 激光位移传感器 误差分析 |
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