| 离子束辅助技术在高功率激光薄膜中的应用 |
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| 引用本文： | 张大伟,张东平,范树海,王英剑,邵建达,范正修. 离子束辅助技术在高功率激光薄膜中的应用[J]. 激光与光电子学进展, 2004, 41(10): 18-21 |
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| 作者姓名： | 张大伟 张东平 范树海 王英剑 邵建达 范正修 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800;中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800;中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800;中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800;中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800;中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800 |
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| 摘 要： | 从离子束清洗、离子束辅助沉积以及离子束后处理三个方面，介绍了离子束辅助技术在高功率激光薄膜中的应用背景、应用优势以及存在的问题。
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| 关 键 词： | 激光技术 离子束辅助技术 高功率激光薄膜 |
| 收稿时间： | 2004-05-20 |
Application of Ion-assisted Technology in High Power Laser Films |
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| ZHANG Dawei ZHANG Dongping Fan Shuhai WANG Yingjian SHAO Jianda FAN Zhengxiu. Application of Ion-assisted Technology in High Power Laser Films[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2004, 41(10): 18-21 |
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| Authors: | ZHANG Dawei ZHANG Dongping Fan Shuhai WANG Yingjian SHAO Jianda FAN Zhengxiu |
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| Abstract: | Prom ion cleaning, ion-assisted deposition and ion post treatment, the application background, merits and the problems of ion assisted technology for high power laser films are introduced. |
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| Keywords: | laser technology ion-assisted technology high power laser films |
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