| 光学薄膜淀积的计算机仿真 |
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| 引用本文： | 杨明红,刘劲松,陈清明,张波. 光学薄膜淀积的计算机仿真[J]. 光学仪器, 2001, 0(Z1) |
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| 作者姓名： | 杨明红 刘劲松 陈清明 张波 |
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| 作者单位： | 华中理工大学激光技术国家重点实验室 湖北武汉430074(杨明红，刘劲松，陈清明)，华中理工大学激光技术国家重点实验室 湖北武汉430074(张波) |
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| 摘 要： | 介绍了利用计算机对光学薄膜淀积过程进行仿真 ,编写了基于 Matlab的计算机仿真程序。对采用反射率极值法监控的镀膜系统的薄膜淀积结果以及薄膜淀积过程中监控片透射率的实时变化进行了模拟 ,根据模拟结果所计算的薄膜的光学特性曲线与成膜的实测结果一致。
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| 关 键 词： | 薄膜淀积 极值监控法 计算机模拟 |
Computer simulation of optical thin film deposition |
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| YANG Ming hong,LIU Jin song,CHEN Qing ming,ZHANG Bo. Computer simulation of optical thin film deposition[J]. Optical Instruments, 2001, 0(Z1) |
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| Authors: | YANG Ming hong LIU Jin song CHEN Qing ming ZHANG Bo |
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| Abstract: | Computer simulation of optical thin film deposition is explained in this paper.Computer emlutor based on Matlab is composed,real time simulations of coating system deposition with the method of reflectivity turning point and monitoring chip transmittance are done.The optical charactical curve by simulation is in tone with real measurement. |
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| Keywords: | thin film depositon turning point monitoring computer simulation |
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