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| 非晶态TeO2/36°Y-X LiTaO3 SAW基板 | |
| 引用本文： | 商晓莉,公勋,熊军,章德.非晶态TeO2/36°Y-X LiTaO3 SAW基板[J].压电与声光,2009,31(1). |
| 作者姓名： | 商晓莉 公勋 熊军 章德 |
| 作者单位： | 南京大学电子科学与工程系,近代声学教育部重点实验室,江苏,南京,210093 |
| 摘 要： | 研究了非晶态TeO2/36°Y-X LiTaO3层状结构的延迟温度系数(TCD),并计算了该结构中声表面波(SAW)的其他重要特性,如声波模式和机电耦合系数(k2).非晶态TeO2薄膜作为一种新型具有负温度系数的材料,当将其沉积于具有正温度系数的36°Y-X LiTaO3上时,在膜厚仅为传统SiO2薄膜的1/3情况下就可实现零延迟温度系数.另外,该结构中被利用的1阶Love波模式很纯,没有和其他模式明显的耦合,而且其k2高达8.61%.故此结构是一种具有广泛应用前景的新型复合SAW应用材料. |
| 关 键 词： | 延迟温度系数(TCD) 非晶态TeO2薄膜 36°Y-X LiTaO3Love波 层状结构 声表面波(SAW) |
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