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| 真空技术的现状与未来 | |
| 作者姓名： | 曾宪涛 辻泰 |
| 摘 要： | 1.前言真空技术属于实验物理的基础技术的一个分支,是随着原子物理、电子工业等领域的发展而发展起来的。超高真空的获得和测量由阿尔培特在1950年基本建立以后,真空技术已与表面物理有了密切的联系。通过分子束外延和蒸镀来制备薄膜的方法又加深了与电子技术有关的工业的结合。利用真空的主要目的就是使气体分子的平均自由程变长,使处于气体状态的粒子的相互 |
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