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杂志ISSN号
锗硅材料在微电子,光电子方面的应用
作者姓名:
姜小波 叶志镇
摘 要:
锗硅材料的制造与硅平面工艺相容,且具有优良的电学,光学性能,被称为“第二代硅微电子技术”。在高速异质结双极型晶体管,调制掺杂场效管中获得应用,其中HBT即将走向产业化,锗硅材料具有能可调的特性,在光电子方面有其应用价值,锗硅材料做红外探测器有诱人的前景。
关 键 词:
锗硅材料 微电子 光电子 半导体
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