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类金刚石(DLC)膜结构的研究概况
作者姓名:
程宇航 乔学亮
摘 要:
类金刚石膜是一种非晶结构的薄膜,关于其原子排列结构仍是目前研究的主要方向。本文从实验研究和理论研究两方面综合介绍类金刚石膜的研究概况,并介绍了类金刚石膜的实验研究方法和理论模型。
关 键 词:
类金刚石膜 结构 理论 薄膜
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