类金刚石（DLC）膜结构的研究概况

类金刚石膜是一种非晶结构的薄膜，关于其原子排列结构仍是目前研究的主要方向。本文从实验研究和理论研究两方面综合介绍类金刚石膜的研究概况，并介绍了类金刚石膜的实验研究方法和理论模型。