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| 薄膜内应力的起源 | |
| 引用本文： | 范玉殿,周志烽.薄膜内应力的起源[J].材料科学与工程,1996,14(1):5-12. |
| 作者姓名： | 范玉殿 周志烽 |
| 作者单位： | [1]清华大学 [2]佛山市陶瓷研究所 |
| 摘 要： | 薄膜内应力的存在是薄膜生产、制备过程中的普遍现象，应力的产生与薄膜的成核、生长以及微观结构密切相关，本文综述了目前已提出的各种有关应力起源的理论模型，并对磁控溅射Ｃｏ－Ｃｒ和Ｇｄ－Ｆｅ二元合金薄膜的应力产生机制进行讨论。 |
| 关 键 词： | 薄膜 应力 微观结构 |
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