| 磁控溅射AZO透明导电薄膜及其光电性能的研究 |
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| 引用本文： | 赵斌,唐立丹,梅海林,王冰.磁控溅射AZO透明导电薄膜及其光电性能的研究[J].电子元件与材料,2015(8):38-41. |
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| 作者姓名： | 赵斌 唐立丹 梅海林 王冰 |
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| 作者单位： | 辽宁工业大学 材料学院,辽宁 锦州,121000 |
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| 基金项目： | 国家教育部重点项目资助(No.2012031)；辽宁省自然科学基金资助(No.201204916)；辽宁省高校优秀人才计划资助(No. LJQ2013068)；辽宁省高等学校创新团队项目资助 |
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| 摘 要： | 采用磁控溅射法在石英玻璃衬底上制备AZO薄膜。利用X射线衍射仪、原子力显微镜、四探针测试仪和透射光谱仪等手段研究了衬底温度对AZO薄膜结构、形貌、光电性能的影响。结果表明,所有的AZO薄膜均为纤锌矿结构且具有较好的c轴取向。薄膜表面平整,晶粒约为55.56 nm。随着衬底温度升高,薄膜电阻率先降低而后升高,当衬底温度为350℃时,电阻率最小,约为1.41×10–3?·cm,而且该薄膜具有较好的透光率,约为84%。
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| 关 键 词： | AZO薄膜 磁控溅射 衬底温度 结构特性 电阻率 透光率 |
Optical and electrical properties of AZO transparent conductive thin films fabricated by magnetic sputtering |
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| ZHAO Bin,TANG Lidan,MEI Hailin,WANG Bing.Optical and electrical properties of AZO transparent conductive thin films fabricated by magnetic sputtering[J].Electronic Components & Materials,2015(8):38-41. |
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| Authors: | ZHAO Bin TANG Lidan MEI Hailin WANG Bing |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | AZO thin films magnetic sputtering substrate temperature structural properties resistivity transmittance |
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