|
|||||
|
|
| 高温MOCVD温度控制系统研究与设计 | |
| 引用本文： | 林伯奇,何华云,毛朝斌,魏唯,胡晓宇. 高温MOCVD温度控制系统研究与设计[J]. 工业控制计算机, 2015, 28(6) |
| 作者姓名： | 林伯奇 何华云 毛朝斌 魏唯 胡晓宇 |
| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所,湖南长沙,410111 |
| 摘 要： | 温度控制技术是MOCVD控制系统关键技术之一,直接影响材料生长的质量.通过对温度控制系统的研究,分析了MOCVD温度控制特点,介绍了一种用于高温MOCVD设备的温度控制系统,着重讨论了温度串级控制及可变斜率控制方法在高温MOCVD设备中的应用.该系统控制效果良好,能进行稳定、均匀、高效的温度控制,为高温MOCVD的工艺研究奠下了坚实的基础. |
| 关 键 词： | 高温MOCVD 温度控制系统 串级控制 |
Research and Desgin of Temperature Control System in High-Temperature MOCVD |
|
| Abstract: | |
| Keywords: | |