| 扫描电镜中的电子反射镜像现象及应用 |
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| 引用本文： | 张隐奇,吉元,田彦宝,付景永,徐学东,戴琳,王丽. 扫描电镜中的电子反射镜像现象及应用[J]. 真空科学与技术学报, 2007, 27(4): 354-358 |
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| 作者姓名： | 张隐奇 吉元 田彦宝 付景永 徐学东 戴琳 王丽 |
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| 作者单位： | 北京工业大学固体微结构与性能研究所,北京,100022 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;北京市教委科研项目 |
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| 摘 要： | 观察非导电样品在扫描电镜（SEM）中产生的电子镜现象。研究了电子镜出现的条件，监测了电子镜像出现过程中表面电势Es和吸收电流Ia的变化。结果表明，当Es达到7kV～9kV时出现了电子镜像。当电子总发射产额σ≌1，Es≌4kV，及Ia≌0时，形成了稳定而无畸变的电子镜像。利用电子镜现象可确定电子散射率及入射电子能量的临界值E2，以及评价非导电样品导电性能。
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| 关 键 词： | 扫描电镜 电子镜 非导电材料 表面电势 |
| 文章编号： | 1672-7126（2007）04-354-05 |
| 修稿时间： | 2006-12-05 |
Electron Mirror Phenomenon in Scanning Electron Microscopy and Its Application |
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| Zhang Yinqi,Ji Yuan,Tian Yanbao,Fu Jingyong,Xu Xuedong,Dai Lin,Wang Li. Electron Mirror Phenomenon in Scanning Electron Microscopy and Its Application[J]. JOurnal of Vacuum Science and Technology, 2007, 27(4): 354-358 |
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| Authors: | Zhang Yinqi Ji Yuan Tian Yanbao Fu Jingyong Xu Xuedong Dai Lin Wang Li |
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| Affiliation: | Beifing University of Technology, Institute of Microstructure and Property of Advanced Materials, Beijing 100022, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | SEM Electron mirror Non-conducting material Surface potential |
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