| 在塑料表面用磁控溅射制备电磁屏蔽膜的研究 |
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| 引用本文： | 陈省区,王德苗,赵欢畅,苏达,任高潮. 在塑料表面用磁控溅射制备电磁屏蔽膜的研究[J]. 真空科学与技术学报, 2008, 28(Z1): 98-101 |
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| 作者姓名： | 陈省区 王德苗 赵欢畅 苏达 任高潮 |
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| 作者单位： | 浙江大学信电系,杭州,310027 |
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| 摘 要： | 随着电磁污染的日益严重以及塑料在电子产品封装上的广泛应用,对电子产品进行电磁屏蔽设计已成为必然趋势.本文采用磁控溅射的方法在PET塑料基底上沉积多种膜系的金属屏蔽膜层,并对金属膜层的制备工艺进行了研究,最后采用波导法对金属膜层的屏蔽效能进行测试.研究表明,采用Cu/1Cr18Ni9Ti双层金属膜层结构,可以获得良好的表面性能以及结合力,结合力达到500 kPa以上;总厚度仅为764nm的Cu/1Cr18Ni9Ti在2.5 GHz时可获得60 dB以上的屏蔽效能;在总厚度相等的情况下,双面金属层比单面金属层具有更高的效果.
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| 关 键 词： | 磁控溅射 屏蔽效能 电磁屏蔽 塑料金属化 塑料表面 磁控溅射 溅射制备 电磁 屏蔽膜 研究 Substrates Plastic Magnetron Sputtering Films Electromagnetic Shielding 效果 单面 金属层 情况 总厚度 结合力 表面性能 膜层结构 测试 |
| 文章编号： | 1672-7126(2008)增刊-098-04 |
| 修稿时间： | 2007-08-25 |
Growth of Electromagnetic Shielding Films Grown by Magnetron Sputtering on Plastic Substrates |
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| Chen Shengqu,Wang Demiao,Zhao Huanchang,Su Da,Ren Gaochao. Growth of Electromagnetic Shielding Films Grown by Magnetron Sputtering on Plastic Substrates[J]. JOurnal of Vacuum Science and Technology, 2008, 28(Z1): 98-101 |
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| Authors: | Chen Shengqu Wang Demiao Zhao Huanchang Su Da Ren Gaochao |
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