| 纳米Al膜的微波介电特性研究 |
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| 引用本文： | 刘健钢,王铁钢,杜昊,宫骏,孙超,闻立时. 纳米Al膜的微波介电特性研究[J]. 金属功能材料, 2006, 13(1): 24-26 |
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| 作者姓名： | 刘健钢 王铁钢 杜昊 宫骏 孙超 闻立时 |
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| 作者单位： | 中国科学院金属研究所,沈阳,110016;中国科学院金属研究所,沈阳,110016;中国科学院金属研究所,沈阳,110016;中国科学院金属研究所,沈阳,110016;中国科学院金属研究所,沈阳,110016;中国科学院金属研究所,沈阳,110016 |
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| 摘 要： | 研究了不同厚度的纳米Al膜在2～18GHz频率的介电特性。结果表明：纳米Al膜的介电常数具有尺寸效应，并在33nn、时出现极值。薄膜的介电常数随电磁波频率的变化而变化。纳米Al膜直流电导率的实验结果，证明了薄膜结构变化是导致介电常数随厚度变化的直接原因。
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| 关 键 词： | 纳米Al膜 介电常数 尺寸效应 |
| 文章编号： | 1005-8192(2006)01-0024-03 |
| 收稿时间： | 2005-03-04 |
| 修稿时间： | 2005-03-04 |
Permittivity of Nano Aluminum Films in Microwave Band |
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| LIU Jian-gang,WANG Tie-gang,DU Hao,GONG Jun,SUN Chao,WEN Li-shi. Permittivity of Nano Aluminum Films in Microwave Band[J]. Metallic Functional Materials, 2006, 13(1): 24-26 |
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| Authors: | LIU Jian-gang WANG Tie-gang DU Hao GONG Jun SUN Chao WEN Li-shi |
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| Affiliation: | The Institute of Metal research, Chinese Academy of Sciences, Shenyang 110016,China |
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| Abstract: | The relationship between permittivity and thickness of nano aluminum films in microwave band were investigated. The results indicate that the permlttivity of the aluminum films have size effect, and reach the maximum at thickness of 33nm. The structure plays a key role in the size effect of permittivity of the films. |
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| Keywords: | nano aluminum films permittivity size effect |
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