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| 智能真空在线镀膜测厚仪 | |
| 引用本文： | 张金敏,王思明.智能真空在线镀膜测厚仪[J].仪器仪表与分析监测,2004(1):21-23. |
| 作者姓名： | 张金敏 王思明 |
| 作者单位： | 兰州交通大学机电工程学院,信电学院,甘肃,兰州,730070 |
| 摘 要： | 介绍了一种基于 ATMEL AVR85 1 5单片机控制的真空在线镀膜测厚仪的工作原理 ,给出了用于真空镀膜在线厚度测量的测量原理及该测量仪的硬件组成原理和相应的软件设计方法和流程框图。该测厚仪设计了与上位计算机进行远距离信号传输的 RS- 2 32 C接口 ,通过上位计算机可以实现测厚仪系统参数的设定和控制。实际应用表明该仪器具有良好的性能和可靠性 |
| 关 键 词： | 真空镀膜 测厚 AVR单片机 在线测试 可靠性 |
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