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| 星团式MBE设备延长摩尔定律进程 | |
| 引用本文： | 陈裕权.星团式MBE设备延长摩尔定律进程[J].半导体信息,2006(4). |
| 作者姓名： | 陈裕权 |
| 摘 要： | 世界上的硅片领先制造商们正在使用Riber公司的星团式分子束外延(MBE)设备研究用ⅢⅤ族半导体材料来延续摩尔定律。具有领先地位的半导体研究中心———比利时大学校际微电子中心(IMEC)正在安装从法国设备销售商Riber公司购得的“唯一”一台星团式分子束外延设备。这台星团式外延设备与200nm(8英寸)晶片兼容,将用于旨在演示把锗和化合物半导体材料用到未来CMOS工艺中的一项研究计划。比利时大学校际微电子中心正在与许多领先半导体制造公司从事一项亚45nm节点的CMOS研究计划。这项工作的业界伙伴包括英特尔、英飞凌、松下、飞利浦、… |
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