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| 类金刚石薄膜膜基结合强度优化技术研究进展 | |
| 作者姓名： | 郭栋 张树玲 甘志颖 郭峰 |
| 摘 要： | 类金刚石膜是由sp2键合的石墨与sp3键合的金刚石组成的一类碳膜,具备石墨的润滑特性和金刚石的高硬度,在降低摩擦因数、耐磨等方面具有重要应用价值.但薄膜较大的残余应力以及膜基结合问题的存在,限制了其在机械、电子、医学等范围内的普遍应用.国内外研究表明,掺杂元素、生成过渡层、设计多层膜成为有效改善类金刚石薄膜膜基结合强度... |
| 关 键 词： | 掺杂元素 内应力 类金刚石膜 结合力 过渡层 多层膜设计 |