|
|||||
|
|
| 碳化硅电子行业纯水生产工程实例 | |
| 引用本文： | 李朋马兴峰周伟汤付军曹向前.碳化硅电子行业纯水生产工程实例[J].洁净与空调技术,2021(2):64-66. |
| 作者姓名： | 李朋马兴峰周伟汤付军曹向前 |
| 作者单位： | 江苏中电创新环境科技有限公司 |
| 摘 要： | 随着我国半导体行业的快速发展,碳化硅电子行业对纯水的使用要求越来越高.采用UF超滤系统+两级RO反渗透系统+EDI电除盐系统+离子交换系统+终端超滤系统的工艺制备生产所需纯水.其中,UF系统除去水中主要的大分子有机和无机悬浮物;RO系统进行脱盐处理;EDI装置进一步深度处理溶解离子;抛光树脂及终端过滤系统深度处理小分子... |
| 关 键 词： | UF超滤 RO反渗透 EDI电除盐 离子交换 电子行业纯水 |
| 本文献已被 维普 万方数据 等数据库收录！ | |