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| 高压功率器件特性的数值分析 | |
| 作者姓名： | 李肇基 陈星弼 曾军 |
| 作者单位： | 电子科技大学微电子研究所 |
| 摘 要： | 在求解高压功率(HV/P)器件的泊松方程与连续性方程中,将与注入和掺杂有关的因子引入物理参数模型。针对HV/P器件分析程序特有的收敛与溢出问题,采用从低电压到高电压的分段解法和归一化的模拟方法。利用此程序对HV/P器件具有场限环和场板结构的特性进行了模拟。 |
| 关 键 词： | 电场分布 数值分析 高压功率半导体器件 场板 场限环 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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